復(fù)合無紡布拋光墊·參數(shù)吉致電子，CMP拋光材料 可定制·速率高·效果好·專利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA

產(chǎn)品分類：吉致電子·拋光墊

產(chǎn)品名稱：無紡布拋光墊/碳化硅SIC拋光墊/suba800替代

產(chǎn)品厚度：1.2-3mm（可定制）

開槽規(guī)格：10×10--20×20（可定制）

產(chǎn)品直徑：φ300-φ1300mm（可定制）

吉致電子拋光墊滿足低、中及高硬度材料拋光需求，針對(duì)碳化硅SIC拋光的4道工藝制程搭配不同型號(hào)拋光墊（粗磨墊/精磨墊/粗拋墊/精拋墊）具有高移除率、高平坦性、低缺陷和高性價(jià)比等優(yōu)勢。

產(chǎn)品工藝及用途：特殊纖維結(jié)構(gòu)高耐磨的拋光材料，適用于碳化硅SIC/再生晶圓/各類三五族或二六族等晶圓，如藍(lán)寶石、砷化鎵、氮化鋁等拋光，也適用于各類襯底、窗口片或玻璃片的高平坦效果。

碳化硅拋光墊·特點(diǎn)

標(biāo)準(zhǔn)槽深為拋光墊厚度1/2 可以按客戶不同開槽要求定制

吉致電碳化硅拋光墊的特點(diǎn)

• 結(jié)合硬質(zhì)和軟質(zhì)研磨拋光墊的優(yōu)點(diǎn)，可兼顧工件的平坦度與均勻度

• 提供更快磨合的全局平坦性，提升碳化硅晶圓制程的穩(wěn)定性與尺寸精密度

• 壓紋和開槽工藝，PAD可保持拋光液/研磨液良好的流動(dòng)性，不易沾粘，更易清洗

• 特殊纖維材質(zhì)，耐用、耐磨、耐酸堿，價(jià)比高

吉致電子SIC襯底CMP粗拋工藝效果：

SIC碳化硅粗拋工藝在實(shí)際應(yīng)用中使用吉致電子碳化硅拋光液（JZ-8010）與 JZ3020拋光墊拋磨后，碳化硅表面RA值=0.13nm

想了解更多碳化硅CMP拋光工藝參數(shù)與方案，歡迎來電咨詢

碳化硅拋光墊輔料參數(shù)：

拋光墊背膠：

吉致電子每種拋光墊都可以根據(jù)客戶要求提供背膠需求（3M/國產(chǎn)），使用時(shí)粘結(jié)牢固，且使用后易于從盤面剝離。

背膠用途：

液晶玻璃基板的研磨布，研磨墊的固定。

晶圓，硬盤基板等研磨布的固定。

CMP墊的固定。

Rubbing Cloth固定等。

高彈緩沖墊及吸附墊：

可以根據(jù)客戶需求提供緩沖墊和吸附墊。緩沖墊是靈活應(yīng)用高分子工業(yè)技術(shù)所研發(fā)出的高發(fā)泡硅膠泡棉。由于它具有普通泡棉所不具有的耐熱性、耐寒性、低燃燒性等特點(diǎn)，可適用于貼合拋光阻尼布加工制成不同厚度的拋光墊，從而使拋光效果更佳更容易保護(hù)拋光工件。

吉致電子碳化硅拋光墊價(jià)格實(shí)惠：

吉致電子拋光墊生產(chǎn)引進(jìn)國外技術(shù)，可以媲美進(jìn)口拋光墊產(chǎn)品（Fujiba/SUBA/環(huán)球等國產(chǎn)替代）品質(zhì)穩(wěn)定。

選擇吉致電子拋光墊產(chǎn)品，價(jià)格美麗，比進(jìn)口拋光墊便宜，交貨期穩(wěn)定，性價(jià)比更高！

吉致電子研發(fā)團(tuán)隊(duì)--15年經(jīng)驗(yàn)CMP拋光液配方工程師，為您攻克拋光難題！

無錫吉致電子科技有限公司

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