- [行業(yè)資訊]CMP拋光液---復合磨料拋光液[ 2022-09-15 13:53 ]
- 復合磨料拋光液 CMP拋光液產(chǎn)品除了混合磨料外，也有利用各種新興材料制備復合磨料，常用的方法有納米粒子包覆和摻雜等。如通過結構修飾改善納米粒子的分散性、復合其他類型材料提升在酸、堿性拋光液中的綜合性能等。 復合磨料拋光液相比混合磨料和單一磨料，在材料去除率及表面粗糙度方面均有明顯的優(yōu)勢，能實現(xiàn)納米級或亞納米級超低損傷的表面形貌。但復合磨料的制備工藝相對比較復雜，目前僅處于實驗室探索階段，距離復合磨料在大規(guī)模生產(chǎn)上的應用還有較遠的距離。 吉致電子科技25年拋光液生產(chǎn)廠
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http://paqa.com.cn/Article/cmppgyfhml_1.html
- [常見問題]磨料在CMP拋光液中的作用[ 2022-08-26 14:45 ]
- 拋光磨料是CMP拋光液中的主要成分，在拋光過程中通過微切削、微擦劃、滾壓等方式作用于工件表面，達到機械去除材料的作用。 拋光液根據(jù)磨料成分一般分為單一磨料拋光液，混合磨料拋光液，復合磨料拋光液 磨料在CMP拋光過程中起到的作用為：（1）機械作用的實施者，起機械磨削作用；（2）傳輸物料的功能，不僅將新鮮漿料傳輸至拋光墊與被拋材料之間，還將反應物帶離材料表面，使得材料新生表面露出，進一步反應去除。所以選擇拋光液時記得考慮分散性好，流動性好，硬度適中，易于清洗的拋光液產(chǎn)品，有相關問題
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http://paqa.com.cn/Article/mlzcmppgyz_1.html
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