- [常見問題]SiO2二氧化硅拋光液--硅溶膠粒徑大小的區(qū)別[ 2023-01-06 16:24 ]
- 二氧化硅拋光液SiO2 Slurry的制備中主要成分是納米硅溶膠,一般分為大粒徑硅溶膠和小粒徑硅溶膠,那么怎么定義硅溶膠粒徑大小呢,吉致電子小編為您詳解: 大粒徑硅溶膠與小粒徑硅溶膠的定義 CMP精拋液中納米硅溶膠顆粒的粒徑為10-50nm,這個粒徑范圍的硅溶膠在市場上最常見,價格也相對便宜。如果對硅溶膠的純度和pH值沒有特殊要求,這種規(guī)格的硅溶膠價格相對比較便宜。 大粒徑硅溶膠:粒徑>50nm的硅溶膠一般可稱為大粒徑硅溶膠。吉致電子科技生產(chǎn)的大粒徑硅溶膠最大可達150n
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