- [行業(yè)資訊]半導體芯片研磨液與CMP工藝：鑄就芯片制造的基石[ 2024-11-05 15:10 ]
- CMP工藝在芯片制造的關鍵環(huán)節(jié) 在蓬勃發(fā)展的半導體產業(yè)中，芯片制造如同一場精細的藝術創(chuàng)作，而半導體芯片研磨與CMP工藝則是其中重要的環(huán)節(jié)。芯片制造是一個高度復雜的過程，涉及多個步驟，CMP工藝在這個過程中起著不可或缺的作用。 隨著芯片制程不斷縮小，對晶圓表面平整度的要求越來越高。如果晶圓表面不平整，在后續(xù)的光刻、刻蝕等工藝中，就會出現(xiàn)對焦精度不準確、線寬控制不穩(wěn)定等問題，嚴重影響芯片的性能和質量。例如，當制造層數(shù)增加時，如果晶圓表面不平整，可能導致金屬薄膜厚度不均進而影響電阻值
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http://paqa.com.cn/Article/bdtxpymyyc_1.html
- [常見問題]DNA基因芯片cmp工藝[ 2024-10-11 17:17 ]
- 基因芯片又稱DNA芯或DNA微陣列。它是一種同時將大量的探針分子固定到固相支持物上，借助核酸分子雜交配對的特性對DNA樣品的序列信息進行高效解讀和分析的技術，主要應用在醫(yī)學領域、生物學研究領域和農業(yè)領域。DNA芯片生產過程需要經過CMP研磨拋光去除基板水凝膜，達到理想表面效果。 吉致電子DNA基因芯片slurry，有效去除基底涂覆的軟材料,軟材料包括但不限于聚合物、無機水凝膠或有機聚合物水凝膠等?；?font color='red'>芯片研磨液使用微米級磨料制備，粒徑均一穩(wěn)定，有效去除玻璃基底上的固化聚合物混合物、軟材質水凝
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http://paqa.com.cn/Article/dnajyxpcmp_1.html
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