吉致電子---Si硅片拋光液,為半導體護航
半導體硅片拋光液是一種均勻分散膠粒的乳白色膠體,在半導體材料的CMP加工過程中起著至關重要的作用。其外觀通常為乳白色或微藍色透明溶液。半導體硅片Si拋光液主要有拋光、潤滑、冷卻等作用。
在拋光方面,Si wafer Slurry能夠有效地去除半導體硅晶圓表面的雜質和凸起,使硅片表面更加光滑平整。例如,經(jīng)過拋光液處理后,晶片表面的微粗糙度可以達到 0.2nm 以下。在潤滑作用中,它可以減少硅片與拋光設備之間的摩擦,降低磨損,延長設備的使用壽命。同時,在拋光過程中會產(chǎn)生熱量,而拋光液的冷卻作用可以及時帶走熱量,防止硅片因過熱而受損。
市場上的半導體硅片拋光液供應商眾多,產(chǎn)品質量也參差不齊。優(yōu)質的CMP拋光液具有較高的拋光去除速率,還能在循環(huán)使用過程中保持拋光去除速率及拋光后表面質量的穩(wěn)定,有效降低使用成本。無錫吉致電子科技研發(fā)生產(chǎn)的硅片拋光液/硅晶圓拋光研磨/半導體晶圓研磨拋光/Si Wafer Slurry可替代現(xiàn)有國外同類進口產(chǎn)品,用于8-12”Wafer大硅片及再生晶圓的CMP粗拋、中拋、精拋,減少晶圓表面的不平整。達到半導體高質量晶片的組裝工藝要求。
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