在生產(chǎn)藍(lán)寶石襯底的時(shí)候產(chǎn)生裂痕和崩邊現(xiàn)象的比例比較高，占總比的5%-8%。我國(guó)藍(lán)寶石批量生產(chǎn)的技術(shù)還很不成熟，切割完的藍(lán)寶石晶片有很深的加工痕跡，拋光后易形成很深的麻坑或劃傷。因此需要通過CMP研磨拋光技術(shù)來達(dá)到工件平坦度，拋光過程中影響拋光質(zhì)量的因素有很多，如藍(lán)寶石拋光液的組分和PH值、壓力、溫度、流量、轉(zhuǎn)速和拋光墊的質(zhì)量等。

  藍(lán)寶石晶圓的拋光需要對(duì)拋光液材質(zhì)有很高的要求，磨料太軟會(huì)導(dǎo)致拋光時(shí)間過長(zhǎng)而拋光效果不理想。

目前拋藍(lán)寶石合適的是鉆石拋光液，鉆石拋光液磨料是采用金剛石為原料，有很高的硬度，搭配藍(lán)寶石拋光墊有很快的拋光速率。如果對(duì)拋光光良度有很高的要求可以在選用吉致電子硅溶膠拋光液進(jìn)行精拋。

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