CMP拋光液的拋光磨料有哪些？

拋光液中常用的拋光磨料種類可分為天然磨料和人造磨料，吉致拋光液磨料也是在這類磨料基礎(chǔ)上調(diào)配出專利配方用于精密工件拋磨，提升光潔度。

1.天然磨料:自然界中所有可用于研磨或磨削的材料統(tǒng)稱為天然磨料。常用的天然磨料如下:金剛石、天然剛玉、石榴石和石英。

2.人造磨料:人造磨料分為剛玉系列、碳化物系列、硬質(zhì)系列。

剛玉系人造磨料：棕剛玉、白剛玉、鋯剛玉、微晶剛玉、單晶剛玉、鉻剛玉、鐠釹剛玉、黑剛玉和礬土燒結(jié)剛玉。

碳化硅系人造磨料：碳化硅、鈰碳化硅、碳化硼、碳硅硼。

硬質(zhì)人造磨料系列：金剛石（人造鉆石）和立方氮化硼。

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，人造磨料品種已達幾十種，天然磨料由于自身的缺陷，已被越來越多的人造磨料所取代。

用于CMP拋光液的磨料有：金剛石微粉、氧化鈰微粉、氧化鋁微粉等。在這些微粉基礎(chǔ)上通過工藝制備出的納米級的微粒，可制成鉆石拋光液、二氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液、氧化硅拋光液等。

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