拋光液是用于精密、超精密加工（比如半導(dǎo)體晶圓）的CMP耗材，是一種不含任何硫、磷、氯添加劑的水溶性拋光劑。拋光液成分是由拋光粉磨料加上水基或油基的底液制備而成的懸浮液。里面除了有微米級(jí)和納米級(jí)的磨料，還有一些輔助添加劑比如活性劑、分散劑、氧化劑等等。

  根據(jù)拋磨工件材質(zhì)不同拋光液往往呈現(xiàn)一定的酸性或堿性，酸堿度是用于軟化工件表面以加速磨削，減少對(duì)工件的沖擊劃傷，對(duì)人的皮膚有輕微腐蝕性，工作時(shí)可戴上防腐手套，防腐衣服等做好防護(hù)工作。不過(guò)隨著技術(shù)進(jìn)步和配液方式改進(jìn)，中性PH的拋光液產(chǎn)品也越來(lái)越多，具有無(wú)毒，無(wú)腐蝕，不易變質(zhì)等性能，正確使用cmp拋光液對(duì)機(jī)臺(tái)和皮膚的傷害幾乎不存在。

  吉致電子拋光液的主要產(chǎn)品成分的不同分為以下幾大類(lèi)：金剛石拋光液（多晶金剛石拋光液、單晶金剛石拋光液和納米金剛石拋光液）、氧化硅拋光液（CMP拋光液）、氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液和碳化硅拋光液等。環(huán)保完全無(wú)異味，達(dá)到安全排放標(biāo)準(zhǔn)。

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