混合磨料拋光液
  拋磨工件材質(zhì)的升級(jí)和發(fā)展，對(duì)鏡面要求越來越高，單一的磨料已無法滿足CMP行業(yè)需求，研究人員開始嘗試將不同粒徑、不同形貌的一種或多種粒子組合到一起使用，開發(fā)出混合型拋光液。
比如混合氧化硅拋光液，在大粒徑二氧化硅中加入小粒徑的氧化硅，能明顯提高拋光速率，且粒徑相差越大提升率越高，這是因?yàn)槟チ显诳偟馁|(zhì)量分?jǐn)?shù)不變的條件下，增大小粒徑磨料的占比能增加硅溶膠顆粒的總體數(shù)量，從而起到了提高拋光速率的作用。

  大量的研究成果表明，混合粒子的使用能夠不同程度的提高化學(xué)機(jī)械拋光的速率，但是對(duì)拋光后表面粗糙度的影響有好有壞，不同類型磨料混合使用對(duì)CMP拋光結(jié)果的影響規(guī)律仍有待進(jìn)一步研究和優(yōu)化。

  吉致電子科技作為25年拋光液生產(chǎn)廠家致力于研發(fā)生產(chǎn)各種CMP拋光液及耗材，產(chǎn)品主要應(yīng)用于金屬、半導(dǎo)體和超硬陶瓷領(lǐng)域，國(guó)家專利配方拋光液，可按客戶要求定制并提供全程技術(shù)指導(dǎo)。

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